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国家知识产权局信息数据显现，泰微科技（珠海）有限公司获得一项名为“全自动晶圆丈量设备”的专利，授权公告号CN223741481U，请求日期为2025年1月。
专利摘要显现，本实用新型公开了一种全自动晶圆丈量设备，包含：底座；外罩，装置在底座上，与底座构成一个关闭的检测室；上下料模组，设置在所述外罩的前侧，所述上下料模组具有上下料室和门，所述上下料室和所述检测室经过设置在所述外罩上的开口相连通，所述上下料室的前侧设有取放口，所述门用于开闭所述取放口；转移模组，坐落所述检测室内，并装置在所述底座上；寻边摄影模组，坐落所述检测室内，并装置在转移模组的一侧；丈量模组，坐落所述检测室内，并装置在转移模组的另一侧；控制箱，与所述上下料模组、转移模组、寻边摄影模组及丈量模组电气衔接。上述的全自动晶圆丈量设备，集成度高，结构严密相连且简略，简略保护，占用空间小，且操作简略。
天眼查资料显现，泰微科技（珠海）有限公司，成立于2022年，坐落珠海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1281.58万人民币。经过天眼查大数据分析，泰微科技（珠海）有限公司参加招投标项目3次，专利信息13条，此外企业还具有行政许可10个。
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